超純水處理
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超純水過濾

 

過程簡述

 

在半導體產品制造過程中,由于生產設備的精密性和生產工藝的復雜性,對其配套設施提出了很高的要求,尤其對作為半導體行業血脈 的超純水系統更是高之又高。半導體行業超純水制造工藝可以概述為4個部分,分別為預處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分;在有些半導體廠中, 也有用“陰床+陽床”代替電去離子裝置的,主要根據原水水質和產水水質對弱電解質的要求而定。
 

產品優勢

 

 

產品應用

 

多介質過濾器+活性炭過濾器
粗過濾器+超濾裝置

 

反滲透膜

 

EDI模塊和 CEDI模塊

 

 
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