多晶硅高溫尾氣處理
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多晶硅作為制作太陽能電池的主要原料,近年來得到巨大發展。不管是改良西門子法還是硅烷法生產工藝中都存在大量過濾分離器,用于硅粉收集、氯硅烷循環洗滌、循環水再利用等工序。結合諸多項目經驗,飛潮提出了自己的過濾工藝解決方案。

 

污染物及雜質:

 

未完全反應的硅粉顆粒
循環液帶入的管道中的雜質
進料帶入的固體粉塵與雜質
合成反應生成的固體雜質

這些顆粒的存在是影響生產穩定、換熱效率的重要原因。高效的過濾與分離裝置不僅保護了生產設備的工藝安全,同時也提升了產品產量。

 

高溫尾氣凈化

 

尾氣過濾應用在多晶硅生產的各個工藝段,對多晶硅的生產起到重要作用,尤其目前行業低位運行期間,對多晶硅產品降低成本至關重要.

a.廢氣廢液工位的煙氣過濾
b.還原爐尾氣分離
c.氫化爐尾氣分離
d.硅粉槽硅粉過濾等。

 

1、還原尾氣分離

 

在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過干法分離后,H2和HCl得以回收利用,在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應硅粉和生成的石墨粉,保證氫氣純凈,使氫化反應和還原反應更穩定、高效。

問題:

要求:

解決:

氫氣為高危氣體

過濾器密封性能良好

采用自動反吹系統,無須打開濾器,減少內件更換頻次,避免泄露可能

石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小,硬度高。

過濾精度要求高,防止內件穿透。

采用獨特的燒結金屬氈內件,過濾孔徑穩定,保證過濾性能,過濾精度可達0.1um-0.5um

尾氣溫度高

抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。

飛潮采用高溫直接處理工藝,避免降溫處理帶來管道腐蝕,能耗浪費嚴重的問題。

 

2、廢氣、廢液焚燒處理

 

在多晶硅生產工藝中,廢氣廢液處理一直是困擾企業的難題之一。傳統的噴淋處理工藝,處理成本高,浪費嚴重,環保問題嚴峻。

 

解決方案:

 

飛潮采用干法分離技術,將廢氣廢液在爐內燃燒,生成SiO2粉末,通過分離收集SiO2粉末產生極大的經濟效益。同時解決環保達標排放問題.

 

工藝優勢:

 

廢氣廢液集中處理,工藝流程短,操作簡單。
回收的SiO2粉末產生極大的經濟效益。
氣體經燃燒后,符合環保要求,可直接放空處理,經濟環保。

 

 

多晶硅其他過濾器

 

從改良西門子法到硅烷法,從氯硅烷過濾到高溫尾氣分離,飛潮都可滿足客戶不同的需求。

 

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